@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00049720,
 author = {高野, 俊一 and 森田, 剛 and 新野, 俊樹},
 issue = {3},
 journal = {生産研究},
 month = {},
 note = {特集 プロダクションテクノロジー},
 pages = {194--197},
 title = {研究速報 : 超音波モータによる超高真空対応回転導入器 : 真空中での速度 負荷特性 及び真空特性},
 volume = {54},
 year = {2002}
}