@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00049742, author = {平本, 年郎}, issue = {5}, journal = {生産研究}, month = {}, note = {特集 生研公開}, pages = {307--314}, title = {生研公開講演 : 半導体デバイスはどこまで小さくなるか?}, volume = {54}, year = {2002} }