@misc{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00049884, author = {風間, 敦}, month = {Sep}, note = {学位の種別: 論文博士, 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 割澤 伸一, 東京大学教授 鈴木 雄二, 東京大学教授 泉 聡志, 東京大学講師 米谷 玲皇, 東洋大学教授 松本 潔}, title = {伸縮梁構造を用いたピエゾ抵抗型3軸加速度センサの高信頼性設計技術}, year = {2016} }