@misc{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00050167,
 author = {趙, 煜},
 month = {Sep},
 note = {学位の種別: 課程博士, 審査委員会委員 : （主査）東京大学教授 霜垣 幸治, 東京大学教授 寺嶋 和夫, 東京大学准教授 喜多 浩之, 東京大学准教授 下山 裕介, 東京大学准教授 杉山 正和, 東京大学講師 百瀬 健, 大阪府立大学准教授 齊藤 丈靖},
 title = {Process Development of 3-dimensional Bi4Ti3O12 Capacitors in Ferroelectric Memory using Supercritical Fluid},
 year = {2016}
}