@misc{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00050368,
 author = {荒川, 靖章},
 month = {Mar},
 note = {学位の種別: 課程博士, 審査委員会委員 : （主査）東京大学教授 藤岡 洋, 東京大学教授 立間 徹, 東京大学教授 尾張 眞則, 東京大学教授 石井 和之, 東京大学准教授 岩本 敏},
 title = {スパッタリング成長不純物添加GaNの評価に関する研究},
 year = {2017}
}