@article{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00051626,
 author = {遠藤, 康博 and 新野, 俊樹},
 issue = {6},
 journal = {生産研究},
 month = {},
 note = {特集1 プロダクションテクノロジー研究会},
 pages = {479--482},
 title = {研究速報 : 超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器 : 摩擦駆動面の形状変更による駆動性能の向上},
 volume = {55},
 year = {2003}
}