@misc{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00052251,
 author = {鈴木, 一明},
 month = {Oct},
 note = {学位の種別: 論文博士, 審査委員会委員 : （主査）東京大学教授 高増 潔, 東京大学教授 鈴木 宏正, 東京大学教授 高橋 哲, 東京大学講師 木下 裕介, 東京電機大学教授 堀内 敏行},
 title = {微細化パターンの結像特性に基づくリソグラフィ用露光装置のシステム設計},
 year = {2017}
}