@phdthesis{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00006247, author = {楊, 文華}, month = {Sep}, note = {学位の種別:課程博士, 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 須賀 唯知, 東京大学教授 川勝 英樹, 東京大学准教授 金 範埈, 東京大学准教授 日暮 栄治, 国立研究開発法人物質・材料研究機構フェロー 吉田 豊信}, school = {東京大学, University of Tokyo}, title = {Study of Cu/Cu Low Temperature Direct Bonding Using Formic Acid Treatment}, year = {2013} }