@phdthesis{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00006547, author = {朴, 元淳}, month = {Mar}, note = {学位の種別:課程博士, 審査委員会委員 : (主査)東京大学准教授 崔 埈豪, 東京大学教授 加藤 孝久, 東京大学教授 高木 周, 東京大学准教授 ドロネー ジャン ジャック, 東京大学准教授 三宅 晃司, 名古屋大学准教授 上坂 裕之}, school = {東京大学, University of Tokyo}, title = {バイポーラPBII&D法によるDLC膜の三次元作成およびプラズマ挙動解析に関する研究}, year = {2014} }