@phdthesis{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00006729, author = {朴, 相天}, month = {Mar}, note = {学位の種別:課程博士, 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 加藤 孝久, 東京大学准教授 崔 埈豪, 東京大学准教授 割澤 伸一, 東京大学講師 米谷 玲皇, 産業技術総合研究所研究チーム長 高木 秀樹}, school = {東京大学, University of Tokyo}, title = {Fabrication Technology of High Density Cu/Polyimide Interconnection by Hybrid Imprinting with Selective Electroless Plating}, year = {2014} }