@phdthesis{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00007191, author = {宇佐美, 貴徳}, month = {Mar}, note = {学位の種別:課程博士, 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 下山 勲, 東京大学教授 藤田 博之, 東京大学教授 中村 仁彦, 東京大学教授 中尾 政之, 東京大学准教授 竹内 昌治}, school = {東京大学, University of Tokyo}, title = {小型高感度な力検出ピエゾ抵抗型カンチレバー}, year = {2014} }