@phdthesis{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00007306, author = {毛利, 友紀}, month = {Mar}, note = {学位の種別:論文博士, 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 平本 俊郎, 東京大学教授 桜井 貴康, 東京大学教授 廣瀬 和之, 東京大学教授 高木 信一, 東京大学准教授 竹中 充, 東京大学准教授 喜多 浩之}, school = {東京大学, University of Tokyo}, title = {微細MOSFETの接合リーク電流におけるばらつき機構の解明}, year = {2014} }