@misc{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00007815,
 author = {袁, 光杰},
 month = {Sep},
 note = {学位の種別: 課程博士, 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 霜垣 幸浩, 東京大学教授 寺嶋 和夫, 東京大学教授 光田 好孝, 東京大学准教授 長汐 晃輔, 東京大学准教授 杉山 正和},
 title = {Process development of Hot-Wire-assisted ALD dedicated to High Quality Ni/Ru Thin Films for Microelectronic Devices},
 year = {2014}
}