@misc{oai:repository.dl.itc.u-tokyo.ac.jp:00008074, author = {Jacqueline, YAN}, month = {Mar}, note = {学位の種別: 課程博士, 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 徳宿 克夫, 東京大学教授 牧島 一夫, 東京大学教授 坂本 宏, 東京大学准教授 川本 辰男, 東京大学准教授 山下 了}, title = {Precise Measurement of Nanometer Scale Electron Beam Sizes Using Laser Interference by Shintake Monitor}, year = {2015} }