WEKO3
アイテム
非断熱過程を利用した近接場光リソグラフィとその応用
http://hdl.handle.net/2261/25822
http://hdl.handle.net/2261/25822f9025361-aee3-4e8c-96ec-24e82daec17f
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
yonemitsu.pdf (2.4 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-08-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 非断熱過程を利用した近接場光リソグラフィとその応用 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 光リソグラフィ | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 近接場光 | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 非断熱光化学反応 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| 著者 |
米満, 広樹
× 米満, 広樹 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 5570 | |||||
| 姓名 | Yonemitsu, Hiroki | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学大学院工学系研究科 電子工学専攻 | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2007-02-02 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 549 | |||||
| 学位 | ||||||
| 値 | master | |||||
| 研究科・専攻 | ||||||
| 工学系研究科電子工学専攻 | ||||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2007-03 | |||||
| 学位記番号 | ||||||
| 修第号 | ||||||
