WEKO3
アイテム
非断熱過程を利用した近接場光リソグラフィとその応用
http://hdl.handle.net/2261/25822
http://hdl.handle.net/2261/25822f9025361-aee3-4e8c-96ec-24e82daec17f
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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yonemitsu.pdf (2.4 MB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2011-08-08 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 非断熱過程を利用した近接場光リソグラフィとその応用 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 光リソグラフィ | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 近接場光 | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 非断熱光化学反応 | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
資源タイプ | thesis | |||||
著者 |
米満, 広樹
× 米満, 広樹 |
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著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 5570 | |||||
姓名 | Yonemitsu, Hiroki | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 東京大学大学院工学系研究科 電子工学専攻 | |||||
書誌情報 | 発行日 2007-02-02 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 549 | |||||
学位 | ||||||
値 | master | |||||
研究科・専攻 | ||||||
値 | 工学系研究科電子工学専攻 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2007-03 | |||||
学位記番号 | ||||||
値 | 修第号 |