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  1. 113 工学系研究科・工学部
  2. 99 論文博士
  3. 工学
  1. 0 資料タイプ別
  2. 20 学位論文
  3. 021 博士論文

シリコン単結晶連続引上法におけるドーパントおよび酸素の濃度制御法開発に関する研究

https://doi.org/10.11501/3158625
https://doi.org/10.11501/3158625
3ff975fe-82ad-48fc-af23-a2e942c27abe
名前 / ファイル ライセンス アクション
343817.pdf 343817.pdf (9.1 MB)
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2012-03-01
タイトル
タイトル シリコン単結晶連続引上法におけるドーパントおよび酸素の濃度制御法開発に関する研究
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec
タイプ thesis
ID登録
ID登録 10.11501/3158625
ID登録タイプ JaLC
著者 小野, 直樹

× 小野, 直樹

WEKO 8019

小野, 直樹

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著者所属
著者所属 工学系研究科機械工学専攻
書誌情報 発行日 1998-02-12
学位名
学位名 博士(工学)
学位
値 doctoral
学位分野
Engineering (工学)
学位授与機関
学位授与機関名 University of Tokyo (東京大学)
研究科・専攻
Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科機械工学専攻)
学位授与年月日
学位授与年月日 1998-02-12
学位授与番号
学位授与番号 乙第13690号
学位記番号
第13690号
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Ver.1 2021-03-01 20:42:57.931994
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