シリコン単結晶連続引上法におけるドーパントおよび酸素の濃度制御法開発に関する研究

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Permalink : http://doi.org/10.11501/3158625

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JaLC DOI	info:doi/10.11501/3158625
アイテムタイプ	学位論文 / Thesis or Dissertation
言語	日本語
著者	小野直樹
著者所属	工学系研究科機械工学専攻
発行年	1998-02-12
学位名	博士(工学)
学位	doctoral
学位分野	Engineering (工学)
学位授与機関	University of Tokyo (東京大学)
研究科・専攻	Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科機械工学専攻)
学位授与年月日	1998-02-12
学位授与番号	乙第13690号
学位記番号	第13690号

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