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  1. 113 工学系研究科・工学部
  2. 34 マテリアル工学専攻
  3. 1133445 COE報告書
  1. 0 資料タイプ別
  2. 40 研究調査報告書
  3. 045 COE報告書

ULSI用高信頼性Cu配線形成を目指した量産対応SCFDプロセスの構築

http://hdl.handle.net/2261/8981
http://hdl.handle.net/2261/8981
ce186513-8d33-46d4-b4b3-f37bec20d007
名前 / ファイル ライセンス アクション
RA18_114.pdf RA18_114.pdf (339.6 kB)
Item type 研究報告書 / Research Paper(1)
公開日 2008-03-04
タイトル
タイトル ULSI用高信頼性Cu配線形成を目指した量産対応SCFDプロセスの構築
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws
タイプ research report
著者 百瀬, 健

× 百瀬, 健

WEKO 106947

百瀬, 健

Search repository
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 106948
姓名 ももせ, けん
著者所属
著者所属 マテリアル工学専攻
内容記述
内容記述タイプ Other
内容記述 指導教員;霜垣, 幸浩
書誌情報 発行日 2006
フォーマット
内容記述タイプ Other
内容記述 application/pdf
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 400
出版者
出版者 東京大学大学院工学系研究科
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Ver.1 2021-03-02 00:34:27.111287
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