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インデックスツリー
インデックス
0 資料タイプ別
40 研究調査報告書
045 COE報告書
113 工学系研究科・工学部
34 マテリアル工学専攻
1133445 COE報告書
Permalink : http://hdl.handle.net/2261/8981
ULSI用高信頼性Cu配線形成を目指した量産対応SCFDプロセスの構築
利用統計を見る
File / Name
License
RA18_114.pdf
RA18_114.pdf (339.61KB)
[ 7 downloads ]
アイテムタイプ
研究報告書 / Research Paper
言語
日本語
著者
百瀬 健
著者別名
ももせ けん
著者所属
マテリアル工学専攻
内容記述
指導教員；霜垣, 幸浩
発行年
2006
フォーマット
application/pdf
日本十進分類法
400
出版者
東京大学大学院工学系研究科
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ULSI用高信頼性Cu配線形成を目指した量産対応SCFDプロセスの構築
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