WEKO3
アイテム
ULSI用高信頼性Cu配線形成を目指した量産対応SCFDプロセスの構築
http://hdl.handle.net/2261/8981
http://hdl.handle.net/2261/8981ce186513-8d33-46d4-b4b3-f37bec20d007
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
RA18_114.pdf (339.6 kB)
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| Item type | 研究報告書 / Research Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2008-03-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | ULSI用高信頼性Cu配線形成を目指した量産対応SCFDプロセスの構築 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_18ws | |||||
| タイプ | research report | |||||
| 著者 |
百瀬, 健
× 百瀬, 健 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 106948 | |||||
| 姓名 | ももせ, けん | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | マテリアル工学専攻 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 指導教員；霜垣, 幸浩 | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2006 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 400 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学大学院工学系研究科 | |||||
