WEKO3
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研究解説 : Micro Optical Scanners of Photoresist Reflow Lens on MEMS XY-Stage
http://hdl.handle.net/2261/00074693
http://hdl.handle.net/2261/0007469356f710fe-0b4b-412d-92df-5346100e0d45
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
sk053002002.pdf (824.4 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2018-06-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究解説 : Micro Optical Scanners of Photoresist Reflow Lens on MEMS XY-Stage | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
TOSHIYOSHI, Hiroshi
× TOSHIYOSHI, Hiroshi× JOHN, SU Guo-Dung× LACOSSE, Jason× WU, C. WU |
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| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | Center for International Research on MicroMechatronics, Institute of Industrial Science, University of Tokyo | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | Electrical Engineering, University of California Los Angeles | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | マイクロマシン特集号 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 53, 号 2, p. 91-95, 発行日 2001-02 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 18812058 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| DOI | ||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | info:doi/10.11188/seisankenkyu.53.91 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
