Center for International Research on MicroMechatronics, Institute of Industrial Science, University of Tokyo
Electrical Engineering, University of California Los Angeles
内容記述
マイクロマシン特集号
雑誌名
生産研究
巻
53
号
2
ページ
91 - 95
発行年
2001-02
ISSN
18812058
0037105X
書誌レコードID
AN00127075
DOI
info:doi/10.11188/seisankenkyu.53.91
出版者
東京大学生産技術研究所
出版者別名
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo
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研究解説 : Micro Optical Scanners of Photoresist Reflow Lens on MEMS XY-Stage
sk053002002.pdf
(824.39KB)
