LIMMS/CNRS-IIS, University of Tokyo
Institute of Industrial Science, University of Tokyo
Center for International Research on MicroMechatronics/IIS, University of Tokyo
内容記述
マイクロマシン特集号
雑誌名
生産研究
巻
53
号
2
ページ
123 - 126
発行年
2001-02
ISSN
18812058
0037105X
書誌レコードID
AN00127075
DOI
info:doi/10.11188/seisankenkyu.53.123
出版者
東京大学生産技術研究所
出版者別名
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo
研究解説 : Resonant-type Micro-probe for Vertical Profiler
sk053002010.pdf
(706.35KB)
