WEKO3
アイテム
研究速報 : 超音波モータによる超高真空対応回転導入器 : 真空中での速度 負荷特性 及び真空特性
http://hdl.handle.net/2261/00074841
http://hdl.handle.net/2261/000748412bd8d03b-a944-4611-ab6e-1d0ebbbf1854
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk054003008.pdf (721.5 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-07-06 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究速報 : 超音波モータによる超高真空対応回転導入器 : 真空中での速度 負荷特性 及び真空特性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Ultra-high Vacuum compatible rotary feedthrough utilizing ultrasonic motor : Speed-torque characteristics in vacuum condition and evacuation process | |||||
| 著者 |
高野, 俊一
× 高野, 俊一× 森田, 剛× 新野, 俊樹 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 147513 | |||||
| 姓名 | Takano, Shunichi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 147514 | |||||
| 姓名 | Morita, Takeshi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 147515 | |||||
| 姓名 | Nino, Toshiki | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所情報・システム部門 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | EPFL（スイス連邦工科大学）／理研 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集 プロダクションテクノロジー | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 54, 号 3, p. 194-197, 発行日 2002 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 18812058 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| DOI | ||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | info:doi/10.11188/seisankenkyu.54.194 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
