研究速報 : 超音波モータによる超高真空対応回転導入器 : 真空中での速度 負荷特性 及び真空特性

研究速報 : 超音波モータによる超高真空対応回転導入器 : 真空中での速度負荷特性及び真空特性利用統計を見る

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アイテムタイプ	紀要論文 / Departmental Bulletin Paper
言語	日本語
その他のタイトル	Ultra-high Vacuum compatible rotary feedthrough utilizing ultrasonic motor : Speed-torque characteristics in vacuum condition and evacuation process
著者	高野俊一森田剛新野俊樹
著者別名	Takano Shunichi Morita Takeshi Nino Toshiki
著者所属	東京大学生産技術研究所情報・システム部門 EPFL（スイス連邦工科大学）／理研
内容記述	特集プロダクションテクノロジー
雑誌名	生産研究
巻	54
号	3
ページ	194 - 197
発行年	2002
ISSN	18812058 0037105X
書誌レコードID	AN00127075
DOI	info:doi/10.11188/seisankenkyu.54.194
出版者	東京大学生産技術研究所
出版者別名	Institute of Industrial Science, the University of Tokyo