WEKO3
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特集8 : 研究解説 : 4分割フォトセンサを用いた光計測技術
http://hdl.handle.net/2261/49842
http://hdl.handle.net/2261/498429dbbb0cf-8dbb-4fa2-9acb-f36e4feb59b4
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
sk045012008.pdf (869.6 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2012-11-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集8 : 研究解説 : 4分割フォトセンサを用いた光計測技術 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Optical Measuring Technology Using Quadrant Photocells | |||||
| 著者 |
上村, 康幸
× 上村, 康幸× 谷, 泰弘 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33219 | |||||
| 姓名 | KAMIMURA, Yasuyuki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33220 | |||||
| 姓名 | TANI, Yasuhiro | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 超精密加工学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所付属先端素材開発研究センター 超精密加工学 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 鏡面加工された加工面の非接触計測方法としては，主に光学的方法，特にレーザ光の直進性を利用した光計測方法が多用されている．最近その受光素子として4分割フォトセンサを用いた計測技術が多数報告されている．これは，高分解能が得られる，広いダイナミックレンジが得られるなどの特徴によるものである．本報では，著者らの研究成果も含めて，4分割フォトセンサを用いて表面粗さや形状精度などの表面形状を測定する光計測法について解説する． | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 小特集 先端素材開発研究センター | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 45, 号 12, p. 854-861, 発行日 1993-12-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 501 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
