WEKO3
アイテム
特集1 : 研究解説 : 電界放射計数相関法による表面拡散過程の研究
http://hdl.handle.net/2261/49827
http://hdl.handle.net/2261/498272c88c20f-bbf3-4b53-bf93-a0cd7a97e74e
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
sk045011001.pdf (672.4 kB)
|
|
| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-11-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集1 : 研究解説 : 電界放射計数相関法による表面拡散過程の研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Field Emission Counting Fluctuation Method and Its Application to the Study on Surface Diffusion Process | |||||
| 著者 |
岡野, 達雄
× 岡野, 達雄× 本田, 融 |
|||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33234 | |||||
| 姓名 | OKANO, Tatsuo | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33235 | |||||
| 姓名 | HONDA, Tohru | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第1部 真空物理学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 高エネルギー物理学研究所 真空物理学 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 表面・界面における原子操作を現実のものとするために必要な知識の一つに，表面における原子輸送過程（表面拡散）の解明がある．本解説では，清浄表面における原子拡散過程を研究する方法としてわれわれが近年開発した「電界放射計数相関法」の概略を説明し，この方法によって測定が可能となった半導体表面での金属原子の異方性拡散過程の研究成果を紹介する． | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 小特集 RGOE（界面原子操作の基礎と応用） | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 45, 号 11, p. 767-773, 発行日 1993-11-01 |
|||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 428 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
