WEKO3
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特集2 : 研究解説 : バイブロスキャニング法による細穴内部形状測定
http://hdl.handle.net/2261/49280
http://hdl.handle.net/2261/492804c22c4c2-a701-4455-843e-256aad6732ff
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk045006003.pdf (523.6 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-11-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集2 : 研究解説 : バイブロスキャニング法による細穴内部形状測定 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| 資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Dimensional measurement of small holes by Vibroscanning Method | |||||
| 著者 |
増沢, 隆久
× 増沢, 隆久× 濱崎, 幸夫× 藤野, 正俊 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33558 | |||||
| 姓名 | MASUZAWA, Takahisa | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33559 | |||||
| 姓名 | HAMASAKI, Yukio | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33560 | |||||
| 姓名 | FUJINO, Masatoshi | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 東京大学生産技術研究所第2部 微細加工学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 値 | 東京ガス 微細加工学 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | マイクロマシニングにより加工された細穴の形状測定は，従来の形状測定手法の適用が困難である．この問題を解決するために振動触針を用いて電気的接触のデューティサイクルを検出し，これを指標として表面の凹凸を測定する新しい手法，パイプロスキャニング法を開発した．試作装置を用いた検証実験により，微小な測定圧で，高感度な測定が可能であることが確認され，ø200μmの穴の実測にも成功した． | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集 生産加工プロセスの先進技術 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 45, 号 6, p. 374-378, 発行日 1993-06-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 531 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| 値 | Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | |||||
