WEKO3
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特集19 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 10ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定
http://hdl.handle.net/2261/49297
http://hdl.handle.net/2261/4929789bff4e2-ecb7-4449-83ed-bf3849ae5fd3
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk045006020.pdf (324.2 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-11-15 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集19 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 10ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Comparison Measurement with a Crystalline Lattice as the Scale Reference : Measurement of Accuracy for a Measurement Range of 10nm | |||||
| 著者 |
川勝, 英樹
× 川勝, 英樹× 樋口, 俊郎× 川合, 稔× 渡邊, 道仁× 西沖, 暢久 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33662 | |||||
| 姓名 | KAWAKATSU, Hideki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33663 | |||||
| 姓名 | HIGUCHI, Toshiro | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33664 | |||||
| 姓名 | KAWAI, Minoru | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33665 | |||||
| 姓名 | WATANABE, Michihito | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 33666 | |||||
| 姓名 | NISHIOKI, Nobuhisa | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 精密機械工学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学工学部 メカトロニクス | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 神奈川科学技術アカデミー 精密機械工学 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集 生産加工プロセスの先進技術 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 45, 号 6, p. 455-457, 発行日 1993-06-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 531 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
