WEKO3
アイテム
特集19 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 10ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定
http://hdl.handle.net/2261/49297
http://hdl.handle.net/2261/4929789bff4e2-ecb7-4449-83ed-bf3849ae5fd3
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
sk045006020.pdf (324.2 kB)
|
|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2012-11-15 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 特集19 : 研究速報 : 結晶格子を基準とした測長 : 10ナノメータオーダでの比較測長の精度の測定 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Comparison Measurement with a Crystalline Lattice as the Scale Reference : Measurement of Accuracy for a Measurement Range of 10nm | |||||
著者 |
川勝, 英樹
× 川勝, 英樹× 樋口, 俊郎× 川合, 稔× 渡邊, 道仁× 西沖, 暢久 |
|||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33662 | |||||
姓名 | KAWAKATSU, Hideki | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33663 | |||||
姓名 | HIGUCHI, Toshiro | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33664 | |||||
姓名 | KAWAI, Minoru | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33665 | |||||
姓名 | WATANABE, Michihito | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33666 | |||||
姓名 | NISHIOKI, Nobuhisa | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 東京大学生産技術研究所第2部 精密機械工学 | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 東京大学工学部 メカトロニクス | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 神奈川科学技術アカデミー 精密機械工学 | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 特集 生産加工プロセスの先進技術 | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 45, 号 6, p. 455-457, 発行日 1993-06-01 |
|||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 531 | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
値 | Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |