WEKO3
アイテム
フォトルミネッセンス法によるシリコン結晶の高濃度不純物定量に関する研究
http://hdl.handle.net/2261/29063
http://hdl.handle.net/2261/2906324352680-aff7-4bf8-8a05-81d20fc71a02
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
37066460.pdf (2.1 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-08-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | フォトルミネッセンス法によるシリコン結晶の高濃度不純物定量に関する研究 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | フォトルミネッセンス | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | Si | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | PL | |||||
| キーワード | ||||||
| 主題Scheme | Other | |||||
| 主題 | 定量 | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Study on the Photoluminescence Method for Quantitative Analysis of High Concentration of Impurities in Si | |||||
| 著者 |
荻原, 崇
× 荻原, 崇 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 5791 | |||||
| 姓名 | オギハラ, タカシ | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学大学院工学系研究科 電子工学専攻 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | Department of Electronic Engineering, The University of Tokyo | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2008-03-24 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 549 | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 修士(工学) | |||||
| 学位 | ||||||
| 値 | master | |||||
| 研究科・専攻 | ||||||
| 工学系研究科電子工学専攻 | ||||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2008-03-24 | |||||
