WEKO3
アイテム
III/V族化合物半導体MOVPEにおける界面急峻化に向けた表面in situ観察と速度過程解析
http://hdl.handle.net/2261/29067
http://hdl.handle.net/2261/29067438d7d1b-e2c6-4d04-b630-fdebcf255115
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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37066483.pdf (4.9 MB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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公開日 | 2011-08-08 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | III/V族化合物半導体MOVPEにおける界面急峻化に向けた表面in situ観察と速度過程解析 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | MOVPE | |||||
キーワード | ||||||
主題Scheme | Other | |||||
主題 | 化合物半導体 | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
資源タイプ | thesis | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | In situ surface observation and kinetic analysis for abrupt hetero-interfaces in MOVPE of III/V compound semiconductors | |||||
著者 |
出浦, 桃子
× 出浦, 桃子 |
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著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 5799 | |||||
姓名 | デウラ, モモコ | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 東京大学大学院工学系研究科 電子工学専攻 | |||||
著者所属 | ||||||
値 | Department of Electronic Engineering, The University of Tokyo | |||||
書誌情報 | 発行日 2008-03-24 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 549 | |||||
学位名 | ||||||
学位名 | 修士(工学) | |||||
学位 | ||||||
値 | master | |||||
研究科・専攻 | ||||||
値 | 工学系研究科電子工学専攻 | |||||
学位授与年月日 | ||||||
学位授与年月日 | 2008-03-24 |