WEKO3
アイテム
レーザー干渉リソグラフィーによる次世代光学機能構造加工法の開発
https://doi.org/10.15083/0002006757
https://doi.org/10.15083/00020067573af79aa5-903c-4eb1-9959-a2f0f02d843d
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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A38024.pdf (8.8MB)
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A38024_abstract.pdf (177.4KB)
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A38024_review.pdf (120.7KB)
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Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||||||
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公開日 | 2023-03-24 | |||||||||
タイトル | ||||||||||
タイトル | レーザー干渉リソグラフィーによる次世代光学機能構造加工法の開発 | |||||||||
言語 | ja | |||||||||
タイトル | ||||||||||
タイトル | Development of fabrication method for next-generation optically functional structures by laser interference lithography | |||||||||
言語 | en | |||||||||
言語 | ||||||||||
言語 | jpn | |||||||||
資源タイプ | ||||||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_db06 | |||||||||
資源タイプ | doctoral thesis | |||||||||
ID登録 | ||||||||||
ID登録 | 10.15083/0002006757 | |||||||||
ID登録タイプ | JaLC | |||||||||
アクセス権 | ||||||||||
アクセス権 | open access | |||||||||
アクセス権URI | http://purl.org/coar/access_right/c_abf2 | |||||||||
著者 |
増井, 周造
× 増井, 周造
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著者所属 | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
値 | 工学系研究科精密工学専攻 | |||||||||
内容記述 | ||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||
内容記述 | 学位の種別: 課程博士 | |||||||||
言語 | ja | |||||||||
内容記述 | ||||||||||
内容記述タイプ | Other | |||||||||
内容記述 | 審査委員会委員 : (主査)東京大学教授 高橋 哲, 東京大学教授 金 範埈, 東京大学教授 杉田 直彦, 東京大学准教授 三村 秀和, 東京大学准教授 道畑 正岐 | |||||||||
言語 | ja | |||||||||
書誌情報 |
発行日 2021-03-19 |
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学位名 | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
学位名 | 博士(工学) | |||||||||
学位授与機関 | ||||||||||
学位授与機関識別子Scheme | kakenhi | |||||||||
学位授与機関識別子 | 12601 | |||||||||
言語 | ja | |||||||||
学位授与機関名 | 東京大学 | |||||||||
言語 | en | |||||||||
学位授与機関名 | The University of Tokyo | |||||||||
研究科・専攻 | ||||||||||
値 | Department of Precision Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科精密工学専攻) | |||||||||
学位授与年月日 | ||||||||||
学位授与年月日 | 2021-03-19 | |||||||||
学位授与番号 | ||||||||||
学位授与番号 | 甲第38024号 | |||||||||
学位記番号 | ||||||||||
言語 | ja | |||||||||
値 | 博工第10056号 | |||||||||
出版タイプ | ||||||||||
出版タイプ | VoR |