WEKO3
アイテム
研究解説 : 層流型クリーンルーム内気流のレーザーライトシートによる可視化 : 生産機器廻りの気流を中心として
http://hdl.handle.net/2261/39084
http://hdl.handle.net/2261/390844d376d7b-16c9-4114-8410-67746d583469
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
---|---|---|
![]() |
|
Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
---|---|---|---|---|---|---|
公開日 | 2010-12-19 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 研究解説 : 層流型クリーンルーム内気流のレーザーライトシートによる可視化 : 生産機器廻りの気流を中心として | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Visualization of Air Flowin Laminar Flow Type Clean Room with Laser Light Sheet | |||||
著者 |
村上, 周三
× 村上, 周三× 加藤, 信介× 池鯉鮒, 悟 |
|||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 39077 | |||||
姓名 | MURAKAMI, Shuzo | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 39078 | |||||
姓名 | KATO, Shinsuke | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 39079 | |||||
姓名 | CHIRIFU, Satoru | |||||
著者所属 | ||||||
著者所属 | 東京大学生産技術研究所付属計測技術開発センター 建築都市環境工学 | |||||
著者所属 | ||||||
著者所属 | 高砂熱学工業(株) | |||||
抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 生産機器を設置した全面層流クリーンルームについて模型実験を行い、室内気流をレーザーライトシートを用いた炭酸マグネシウム微粉末トレーサーの散乱光により可視化する。生産機器の配置状態を系統的に変化させ機器廻りの微細な気流性状を解析する。これにより層流型クリーンルームでの内部発塵による汚染防止対策のための基礎となる設計資料を得る | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 37, 号 3, p. 85-90, 発行日 1985-03-01 |
|||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 530 | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |