WEKO3
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特集1 : 軟質粒子によるメカノケミカル・ポリシング
http://hdl.handle.net/2261/38956
http://hdl.handle.net/2261/389567003b95b-af57-43f3-8a99-2da2cd8093c0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk036002002.pdf (873.8 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2010-12-06 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集1 : 軟質粒子によるメカノケミカル・ポリシング | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Mechanochemical Polishing Using Soft Powder | |||||
| 著者 |
今中, 治
× 今中, 治× 安永, 暢男 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 39566 | |||||
| 姓名 | IMANAKA, Osamu | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 39567 | |||||
| 姓名 | YASUNAGA, Nobuo | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 精密工作学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 工業技術院電子技術総合研究所 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 加工物より軟質でかつ加工物材料との化学反応性に青む粒子を用いる新しい方式のポリシング法について解税する。本加工法は、粒子と加工物との接触点で生ずる固相反応を利用するもので、加工変質層のきわめて小さい高精度鏡面が得られるという長所をもつ。その加工原理と特徴を紹介したこち、サファイヤを主な対象として材料除去機構を述べ、Si単結晶および水晶への適用についてもふれる | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集 生産・加工システムの最適化 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 36, 号 2, p. 41-46, 発行日 1984-02-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 530 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
