WEKO3
アイテム
研究速報 : 選択的光エッチングを用いたシリコン表面の微細加工とサブミクロン回折格子の作成
http://hdl.handle.net/2261/35354
http://hdl.handle.net/2261/35354bfd5ae1b-9774-4e21-b61a-753da9e6254c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk031004004.pdf (688.3 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2010-04-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究速報 : 選択的光エッチングを用いたシリコン表面の微細加工とサブミクロン回折格子の作成 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Micro-Lithography and Fabrication of Sub-Micron Diffraction Gratings on Silicon by Selective Photo-Electrolytic Etching | |||||
| 著者 |
榊, 裕之
× 榊, 裕之× 今井, 勇次 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 108193 | |||||
| 姓名 | SAKAKI, Hiroyuki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 108194 | |||||
| 姓名 | IMAI, Yuji | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所 第3部 超音波工学 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 31, 号 4, p. 227-230, 発行日 1979-04-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| フォーマット | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | application/pdf | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 500 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science. University of Tokyo | ||||||
