WEKO3
アイテム
空気潤滑超精密位置決め機構とそのX線露光装置への応用
https://doi.org/10.11501/3077052
https://doi.org/10.11501/30770520d9cb4f5-dd49-4381-8d76-99d69f912549
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
273518.pdf (13.6 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2012-03-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 空気潤滑超精密位置決め機構とそのX線露光装置への応用 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.11501/3077052 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
石原, 直
× 石原, 直 |
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| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 工学系研究科精密機械工学専攻 | |||||
| 書誌情報 | 発行日 1992-04-10 | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位 | ||||||
| 値 | doctoral | |||||
| 学位分野 | ||||||
| Engineering (工学) | ||||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | University of Tokyo (東京大学) | |||||
| 研究科・専攻 | ||||||
| Department of Precision Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科精密機械工学専攻) | ||||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 1992-04-10 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 乙第10667号 | |||||
| 学位記番号 | ||||||
| 第10667号 | ||||||
