WEKO3
アイテム
研究速報 : 機能性自己組織か単分子膜を用いたナノパターンニング
http://hdl.handle.net/2261/00076746
http://hdl.handle.net/2261/0007674662931646-5285-4ded-8239-01bbefc7ebc2
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
sk055006007.pdf (1.2 MB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-02-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究速報 : 機能性自己組織か単分子膜を用いたナノパターンニング | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | SAM meets MEMS:for micro/nano pattering | |||||
| 著者 |
金, 長吉
× 金, 長吉× 唐崎, 兼三× 高間, 信行× ユルゲン, ブルガ× 金, 範埈 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 154258 | |||||
| 姓名 | Kim, Janggil | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 154259 | |||||
| 姓名 | Karasaki, Kenzo | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 154260 | |||||
| 姓名 | Takama, Nobuyuki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 154261 | |||||
| 姓名 | Brugger, Juergen | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 154262 | |||||
| 姓名 | Kim, Beomjoon | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所マイクロメカトロニクス国際研究センター | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | EcolePolytechniqueFederaledeLausanne(EPFL),Switzerland | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集1 プロダクションテクノロジー研究会 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 55, 号 6, p. 483-488, 発行日 2003 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 18812058 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| DOI | ||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | info:doi/10.11188/seisankenkyu.55.483 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
