Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) 電気工学
フランス科学研究庁
2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo 電気工学
3rd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo マイクロメカトロニクス
2nd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo 微細加工学
内容記述
小特集 マイクロマシン
雑誌名
生産研究
巻
49
号
12
ページ
626 - 628
発行年
1997-12
ISSN
0037105X
書誌レコードID
AN00127075
日本十進分類法
549
出版者
東京大学生産技術研究所
出版者別名
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo
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特集9 : 研究速報 : Trends in Nanoscale Science and Technology : Characterization of Thin Film Mechanical Properties
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