研究速報 : ステンレス鋼のアルゴンスパッタリングの結晶方位依存性

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アイテムタイプ	紀要論文 / Departmental Bulletin Paper
言語	日本語
その他のタイトル	The Orientation Dependence of Argon Sputtering in a Stainiess Steel
著者	古山直行石田洋一清水肇
著者別名	Koyama Naoyuki Ishida Yoichi Shimizu Hazime
著者所属	東京大学大学院金属材料学東京大学生産技術研究所第4部工業技術院電子技術総合研究所
雑誌名	生産研究
巻	32
号	1
ページ	19 - 22
発行年	1980-01-01
ISSN	0037105X
書誌レコードID	AN00127075
日本十進分類法	560
出版者	東京大学生産技術研究所
出版者別名	Institute of Industrial Science, the University of Tokyo