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  1. 134 生産技術研究所
  2. 生産研究
  3. 32
  4. 1
  1. 0 資料タイプ別
  2. 30 紀要・部局刊行物
  3. 生産研究
  4. 32
  5. 1

研究速報 : ステンレス鋼のアルゴンスパッタリングの結晶方位依存性

http://hdl.handle.net/2261/37511
http://hdl.handle.net/2261/37511
59c88298-7504-455e-bb29-f02926e2672c
名前 / ファイル ライセンス アクション
sk032001005.pdf sk032001005.pdf (762.4 kB)
Item type 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1)
公開日 2010-10-28
タイトル
タイトル 研究速報 : ステンレス鋼のアルゴンスパッタリングの結晶方位依存性
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_6501
タイプ departmental bulletin paper
その他のタイトル
その他のタイトル The Orientation Dependence of Argon Sputtering in a Stainiess Steel
著者 古山, 直行

× 古山, 直行

WEKO 42046

古山, 直行

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石田, 洋一

× 石田, 洋一

WEKO 42047

石田, 洋一

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清水, 肇

× 清水, 肇

WEKO 42048

清水, 肇

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著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 42049
姓名 Koyama, Naoyuki
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 42050
姓名 Ishida, Yoichi
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 42051
姓名 Shimizu, Hazime
著者所属
著者所属 東京大学大学院 金属材料学
著者所属
著者所属 東京大学生産技術研究所第4部
著者所属
著者所属 工業技術院電子技術総合研究所
書誌情報 生産研究

巻 32, 号 1, p. 19-22, 発行日 1980-01-01
ISSN
収録物識別子タイプ ISSN
収録物識別子 0037105X
書誌レコードID
収録物識別子タイプ NCID
収録物識別子 AN00127075
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 560
出版者
出版者 東京大学生産技術研究所
出版者別名
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo
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Ver.1 2021-03-02 03:41:12.105081
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