WEKO3
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研究速報 : ステンレス鋼のアルゴンスパッタリングの結晶方位依存性
http://hdl.handle.net/2261/37511
http://hdl.handle.net/2261/3751159c88298-7504-455e-bb29-f02926e2672c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
sk032001005.pdf (762.4 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2010-10-28 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究速報 : ステンレス鋼のアルゴンスパッタリングの結晶方位依存性 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | The Orientation Dependence of Argon Sputtering in a Stainiess Steel | |||||
| 著者 |
古山, 直行
× 古山, 直行× 石田, 洋一× 清水, 肇 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42049 | |||||
| 姓名 | Koyama, Naoyuki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42050 | |||||
| 姓名 | Ishida, Yoichi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 42051 | |||||
| 姓名 | Shimizu, Hazime | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学大学院 金属材料学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第4部 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 工業技術院電子技術総合研究所 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 32, 号 1, p. 19-22, 発行日 1980-01-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 560 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
