WEKO3
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研究解説 : SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定
http://hdl.handle.net/2261/00074706
http://hdl.handle.net/2261/0007470678b3ffda-e55e-4e84-9140-9bdd0172ce24
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2018-06-12 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 研究解説 : SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Fabrication and Characterization of Acoustic Frequency Analysis Sensors made of SOI Wafers | |||||
著者 |
山下, 幸一
× 山下, 幸一× 藤田, 博之× 年吉, 洋 |
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著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 146929 | |||||
姓名 | YAMASHITA, Kouichi | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 146930 | |||||
姓名 | FUJITA, Hiroyuki | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 146931 | |||||
姓名 | TOSHIYOSHI, Hiroshi | |||||
著者所属 | ||||||
著者所属 | 東芝テック株式会社技術本部製品開発センター | |||||
著者所属 | ||||||
著者所属 | 東京大学生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | マイクロマシン特集号 | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 53, 号 2, p. 143-146, 発行日 2001-02 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 18812058 | |||||
ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
DOI | ||||||
識別子タイプ | DOI | |||||
関連識別子 | info:doi/10.11188/seisankenkyu.53.143 | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |