WEKO3
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研究解説 : SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定
http://hdl.handle.net/2261/00074706
http://hdl.handle.net/2261/0007470678b3ffda-e55e-4e84-9140-9bdd0172ce24
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk053002015.pdf (868.5 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-06-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究解説 : SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Fabrication and Characterization of Acoustic Frequency Analysis Sensors made of SOI Wafers | |||||
| 著者 |
山下, 幸一
× 山下, 幸一× 藤田, 博之× 年吉, 洋 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 146929 | |||||
| 姓名 | YAMASHITA, Kouichi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 146930 | |||||
| 姓名 | FUJITA, Hiroyuki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 146931 | |||||
| 姓名 | TOSHIYOSHI, Hiroshi | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東芝テック株式会社技術本部製品開発センター | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所 マイクロメカトロニクス国際研究センター | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | マイクロマシン特集号 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 53, 号 2, p. 143-146, 発行日 2001-02 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 18812058 | |||||
| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| DOI | ||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||
| 関連識別子 | info:doi/10.11188/seisankenkyu.53.143 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
