研究解説 : SOIウエハによる音響周波数分解センサの製作と測定

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アイテムタイプ	紀要論文 / Departmental Bulletin Paper
言語	日本語
その他のタイトル	Fabrication and Characterization of Acoustic Frequency Analysis Sensors made of SOI Wafers
著者	山下幸一藤田博之年吉洋
著者別名	YAMASHITA Kouichi FUJITA Hiroyuki TOSHIYOSHI Hiroshi
著者所属	東芝テック株式会社技術本部製品開発センター東京大学生産技術研究所　マイクロメカトロニクス国際研究センター
内容記述	マイクロマシン特集号
雑誌名	生産研究
巻	53
号	2
ページ	143 - 146
発行年	2001-02
ISSN	18812058 0037105X
書誌レコードID	AN00127075
DOI	info:doi/10.11188/seisankenkyu.53.143
出版者	東京大学生産技術研究所
出版者別名	Institute of Industrial Science, the University of Tokyo