WEKO3
アイテム
研究速報 : 超音波振動子を利用した超高真空対応回転導入機の試作
http://hdl.handle.net/2261/55155
http://hdl.handle.net/2261/5515578b70e2e-9ba8-4c6c-bfed-5e9378df3f44
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk052009013.pdf (694.4 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2013-07-12 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 研究速報 : 超音波振動子を利用した超高真空対応回転導入機の試作 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Rotational feedthrough using ultrasonic vibration transducer for ultra-high vacuum condition | |||||
著者 |
森田, 剛
× 森田, 剛× 新野, 俊樹 |
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著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 28867 | |||||
姓名 | Morita, Takeshi | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 28868 | |||||
姓名 | Niino, Toshiki | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 東京大学生産技術研究所情報・システム大部門 | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 理化学研究所工学基盤研究部 | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 52, 号 9, p. 422-425, 発行日 2000-09 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
値 | Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |