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セッション3 : MEMS : From Development of Production
http://hdl.handle.net/2261/55124
http://hdl.handle.net/2261/55124b5f1d5a3-5892-4b0a-9d56-090f6f9309c0
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
sk052006006.pdf (631.7 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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| 公開日 | 2013-07-11 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | セッション3 : MEMS : From Development of Production | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| 著者 |
Ducrée, Jens
× Ducrée, Jens× Sandmaiser, Hermann× Lang, Walter |
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| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | University of Freibulg, Institute for Microsystem Technology (IMTEK) | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | Hahn Schickard Gesellschaft, Institute of Micromachining and Information Technology (HSG-IMIT) | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | IZFM, University of Stuttgart | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 第13回生研学術講演会"マイクロマシン : 基盤技術の充実と応用の展開の現状" | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 52, 号 6, p. 282-285, 発行日 2000-06 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
