WEKO3
アイテム
研究速報 : シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ
http://hdl.handle.net/2261/54989
http://hdl.handle.net/2261/54989313a2432-f976-44d4-93de-6eb81050c986
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk051008010.pdf (731.4 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2013-07-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究速報 : シリコンマイクロマシニングによるステップアクチュエータ | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Step Motion Actuators by Silicon Micromachining | |||||
| 著者 |
年吉, 洋
× 年吉, 洋× 小林, 大× 三田, 信× 橋口, 原× 藤田, 博之× 遠藤, 潤二× 和田, 恭雄 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 29480 | |||||
| 姓名 | Toshiyoshi, Hiroshi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 29481 | |||||
| 姓名 | Kobayashi, Dai | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 29482 | |||||
| 姓名 | Mita, Makoto | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 29483 | |||||
| 姓名 | Hashiguchi, Gen | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 29484 | |||||
| 姓名 | Fujita, Hiroyuki | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 29485 | |||||
| 姓名 | Endo, Junji | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 29486 | |||||
| 姓名 | Wada, Yasuo | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 3rd Department, Institute of Industrial Science, University of Tokyo | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | Tokyo Denki University | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | Kagawa University | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | Advanced Research Laboratory, Hitachi, Ltd. Co. | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 51, 号 8, p. 647-650, 発行日 1999-08 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
