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特集5 : 研究解説 : 薄膜成長プロセスの計算機シミュレーション
http://hdl.handle.net/2261/49818
http://hdl.handle.net/2261/49818e24105df-3ac8-4d7e-b202-d1c2c6b50f77
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk045010005.pdf (966.1 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2012-11-15 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 特集5 : 研究解説 : 薄膜成長プロセスの計算機シミュレーション | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Computer Simulation of Thin Film Growth Process | |||||
著者 |
篠嶋, 妥
× 篠嶋, 妥× 山本, 良一 |
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著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33282 | |||||
姓名 | SASAJIMA, Yasushi | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33283 | |||||
姓名 | YAMAMOTO, Ryoichi | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 茨城大学工学部 材料物性 | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 東京大学生産技術研究所第4部 材料物性,計算材料科学,人工格子材料 | |||||
抄録 | ||||||
内容記述タイプ | Abstract | |||||
内容記述 | 薄膜結晶成長プロセスの計算機シミュレーションについての従来の研究成果をまとめるとともに,金属薄膜成長における二次元成長,三次元成長のシミュレーション,成長様式のマッピングとその解釈について述べている. | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 小特集 知的材料設計 | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 45, 号 10, p. 715-722, 発行日 1993-10-01 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 571 | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
値 | Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |