WEKO3
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特集16 : 研究速報 : 原子間力顕微鏡の力制御の多自由度化
http://hdl.handle.net/2261/49294
http://hdl.handle.net/2261/492949698c306-93ec-4585-a287-4179c9941c93
名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk045006017.pdf (480.2 kB)
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Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
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公開日 | 2012-11-15 | |||||
タイトル | ||||||
タイトル | 特集16 : 研究速報 : 原子間力顕微鏡の力制御の多自由度化 | |||||
言語 | ||||||
言語 | jpn | |||||
資源タイプ | ||||||
資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
資源タイプ | departmental bulletin paper | |||||
その他のタイトル | ||||||
その他のタイトル | Force Control of Atomic Force Microscopy with Multidegrees of Freedom | |||||
著者 |
川勝, 英樹
× 川勝, 英樹× 川合, 稔× 渡邊, 道仁× 西沖, 暢久 |
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著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33639 | |||||
姓名 | KAWAKATSU, Hideki | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33640 | |||||
姓名 | KAWAI, Minoru | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33641 | |||||
姓名 | WATANABE, Michihito | |||||
著者別名 | ||||||
識別子Scheme | WEKO | |||||
識別子 | 33642 | |||||
姓名 | NISHIOKI, Nobuhisa | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 東京大学生産技術研究所第2部 精密機械工学 | |||||
著者所属 | ||||||
値 | 神奈川科学技術アカデミー 精密機械工学 | |||||
内容記述 | ||||||
内容記述タイプ | Other | |||||
内容記述 | 特集 生産加工プロセスの先進技術 | |||||
書誌情報 |
生産研究 巻 45, 号 6, p. 444-447, 発行日 1993-06-01 |
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ISSN | ||||||
収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
収録物識別子 | 0037105X | |||||
書誌レコードID | ||||||
収録物識別子タイプ | NCID | |||||
収録物識別子 | AN00127075 | |||||
日本十進分類法 | ||||||
主題Scheme | NDC | |||||
主題 | 535 | |||||
出版者 | ||||||
出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
出版者別名 | ||||||
値 | Institute of Industrial Science, the University of Tokyo |