WEKO3
アイテム
研究速報 : 磁気ディスクアルミニウム基板加工用弗素樹脂多孔質真空チャックの開発 : 第2報 加工精度に及ぼす影響
http://hdl.handle.net/2261/48332
http://hdl.handle.net/2261/4833271ba667e-c87d-4bad-98fd-e9408154a26d
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
sk043010008.pdf (534.9 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-11-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究速報 : 磁気ディスクアルミニウム基板加工用弗素樹脂多孔質真空チャックの開発 : 第2報 加工精度に及ぼす影響 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Application of Sintered Fluororesin to a Vacuum Chuck for Diamond Turning of Aluminum Discs : 2nd Report, Effect of Chuck Material on Cutting Accuracies | |||||
| 著者 |
谷, 泰弘
× 谷, 泰弘× 大島, 孝郎× 佐藤, 壽芳× 上村, 康幸 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 34814 | |||||
| 姓名 | TANI, Yasuhiro | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 34815 | |||||
| 姓名 | OHSHIMA, Takao | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 34816 | |||||
| 姓名 | SATO, Hisayoshi | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 34817 | |||||
| 姓名 | KAMIMURA, Yasuyuki | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所付属先端素材開発研究センター 超精密加工学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 日興リカ 工業化学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 工作システム工学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 超精密加工学 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 43, 号 10, p. 454-457, 発行日 1991-10-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 578 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
