WEKO3
アイテム
研究速報 : 昇温脱離法によるAl合金膜中のガス分析
http://hdl.handle.net/2261/48294
http://hdl.handle.net/2261/48294a41b5728-ac19-4c83-b747-85c11fd31d36
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk043006009.pdf (352.4 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2012-11-12 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 研究速報 : 昇温脱離法によるAl合金膜中のガス分析 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Gas Analysis in Al-alloy Thin Films by Thermal Desorption Spectroscopy | |||||
| 著者 |
藤田, 大介
× 藤田, 大介× 小池, 義彦× 本間, 禎一 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 35043 | |||||
| 姓名 | FUJITA, Daisuke | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 35044 | |||||
| 姓名 | KOIKE, Yoshihiko | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 35045 | |||||
| 姓名 | HOMMA, Teiichi | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第1部（科学技術庁金属材料技術研究所） 応用表面解析学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 日立製作所日立研究所 応用表面解析学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第1部 応用表面解析学 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 43, 号 6, p. 293-296, 発行日 1991-06-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 549 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
