WEKO3
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特集18 : 研究速報 : LPCVD法における希薄気体流れの数値予測
http://hdl.handle.net/2261/39995
http://hdl.handle.net/2261/39995eab0f386-e2f5-4340-a701-4de14b1f4487
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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sk040001020.pdf (312.8 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-01-14 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集18 : 研究速報 : LPCVD法における希薄気体流れの数値予測 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Numerical prediction for rarefied gas flow of the LPCVD process | |||||
| 著者 |
小林, 敏雄
× 小林, 敏雄× 松本, 裕昭 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37345 | |||||
| 姓名 | KOBAYASHI, Toshio | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37346 | |||||
| 姓名 | MATSUMOTO, Hiroaki | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 流体工学 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集 乱流の数値シミュレーション（NST） その4 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 40, 号 1, p. 83-86, 発行日 1988-01-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 423 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
