WEKO3
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特集6 : 研究解説 : 液体ボンド砥石を用いた高能率研磨法
http://hdl.handle.net/2261/39618
http://hdl.handle.net/2261/396184c173720-80a0-412f-917d-253db76bdd8a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
sk039006007.pdf (584.8 kB)
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| Item type | 紀要論文 / Departmental Bulletin Paper(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2011-01-11 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 特集6 : 研究解説 : 液体ボンド砥石を用いた高能率研磨法 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||
| タイプ | departmental bulletin paper | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | High-Efficiency Fine Finishing Using 'Liquid-Bonded Wheel ' | |||||
| 著者 |
谷, 泰弘
× 谷, 泰弘× 河田, 研治 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37659 | |||||
| 姓名 | TANI, Yasuhiro | |||||
| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 37660 | |||||
| 姓名 | KAWADA, Kenji | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 工作機械測定工学 | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学生産技術研究所第2部 工業化学 | |||||
| 抄録 | ||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||
| 内容記述 | 液体ボンド砥石は、微細な砥粒を液体の表面張力により結合したもので、硬脆材料の鏡面研磨を目的として開発した非常に柔らかいラッピング砥石である。本報告では、この液体ポンド砥石の構造や特徴について解説するとともに、その特徴を生かして高加工圧にて研磨を行う方法について述べ、さらに高加工圧領域での硬脆材料であるシリコンウエハやセラミックスに対する研磨特性について解説する | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 特集 生産・加工システムの最適化 | |||||
| 書誌情報 |
生産研究 巻 39, 号 6, p. 231-236, 発行日 1987-06-01 |
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| ISSN | ||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||
| 収録物識別子 | 0037105X | |||||
| 書誌レコードID | ||||||
| 収録物識別子タイプ | NCID | |||||
| 収録物識別子 | AN00127075 | |||||
| 日本十進分類法 | ||||||
| 主題Scheme | NDC | |||||
| 主題 | 530 | |||||
| 出版者 | ||||||
| 出版者 | 東京大学生産技術研究所 | |||||
| 出版者別名 | ||||||
| Institute of Industrial Science, the University of Tokyo | ||||||
