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  1. 113 工学系研究科・工学部
  2. 99 論文博士
  3. 工学
  1. 0 資料タイプ別
  2. 20 学位論文
  3. 021 博士論文

スパッタ法による結晶薄膜の自己組織的構造形成とその応用

https://doi.org/10.15083/00002769
https://doi.org/10.15083/00002769
200c5763-6241-4aac-abb9-90fb983f0298
名前 / ファイル ライセンス アクション
K-216534.pdf K-216534.pdf (8.2 MB)
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2012-03-01
タイトル
タイトル スパッタ法による結晶薄膜の自己組織的構造形成とその応用
言語
言語 jpn
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec
タイプ thesis
ID登録
ID登録 10.15083/00002769
ID登録タイプ JaLC
著者 辻, 佳子

× 辻, 佳子

WEKO 7323

辻, 佳子

Search repository
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 7324
姓名 Tsuji, Yoshiko
書誌情報 発行日 2006-04-20
学位名
学位名 博士(工学)
学位
値 doctoral
学位分野
Engineering (工学)
学位授与機関
学位授与機関名 University of Tokyo (東京大学)
研究科・専攻
Department of Chemical System Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科化学システム工学専攻)
学位授与年月日
学位授与年月日 2006-04-20
学位授与番号
学位授与番号 乙第16534号
学位記番号
第16534号
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Ver.1 2021-03-01 19:51:11.366775
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