WEKO3
アイテム
スパッタ法による結晶薄膜の自己組織的構造形成とその応用
https://doi.org/10.15083/00002769
https://doi.org/10.15083/00002769200c5763-6241-4aac-abb9-90fb983f0298
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
K-216534.pdf (8.2 MB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2012-03-01 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | スパッタ法による結晶薄膜の自己組織的構造形成とその応用 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.15083/00002769 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| 著者 |
辻, 佳子
× 辻, 佳子 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 7324 | |||||
| 姓名 | Tsuji, Yoshiko | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2006-04-20 | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位 | ||||||
| 値 | doctoral | |||||
| 学位分野 | ||||||
| Engineering (工学) | ||||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | University of Tokyo (東京大学) | |||||
| 研究科・専攻 | ||||||
| Department of Chemical System Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科化学システム工学専攻) | ||||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2006-04-20 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 乙第16534号 | |||||
| 学位記番号 | ||||||
| 第16534号 | ||||||
