WEKO3
アイテム
Process Development of 3-dimensional Bi4Ti3O12 Capacitors in Ferroelectric Memory using Supercritical Fluid
https://doi.org/10.15083/00075288
https://doi.org/10.15083/000752887368256c-5f4a-4add-833c-c1eb91d58a3a
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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A33199_summary.pdf (383.1 kB)
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A33199_abstract.pdf (237.7 kB)
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A33199_review.pdf (191.6 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2018-09-04 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | Process Development of 3-dimensional Bi4Ti3O12 Capacitors in Ferroelectric Memory using Supercritical Fluid | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | eng | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| ID登録 | ||||||
| ID登録 | 10.15083/00075288 | |||||
| ID登録タイプ | JaLC | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | 超臨界流体を利用したBi4Ti3O12強誘電体メモリ用三次元キャパシタ形成プロセスの開発 | |||||
| 著者 |
趙, 煜
× 趙, 煜 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 150161 | |||||
| 姓名 | Zhao, Yu | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 工学系研究科マテリアル工学専攻 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 学位の種別: 課程博士 | |||||
| 内容記述 | ||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||
| 内容記述 | 審査委員会委員 : （主査）東京大学教授 霜垣 幸治, 東京大学教授 寺嶋 和夫, 東京大学准教授 喜多 浩之, 東京大学准教授 下山 裕介, 東京大学准教授 杉山 正和, 東京大学講師 百瀬 健, 大阪府立大学准教授 齊藤 丈靖 | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2016-09-16 | |||||
| 著者版フラグ | ||||||
| 値 | none | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 博士(工学) | |||||
| 学位 | ||||||
| 値 | doctoral | |||||
| 学位授与機関 | ||||||
| 学位授与機関名 | University of Tokyo(東京大学) | |||||
| 研究科・専攻 | ||||||
| Department of Materials Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科マテリアル工学専攻) | ||||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2016-09-16 | |||||
| 学位授与番号 | ||||||
| 学位授与番号 | 12601甲第33199号 | |||||
| 学位記番号 | ||||||
| 博工第8930号 | ||||||
