ログイン
言語:

WEKO3

  • トップ
  • ランキング
To
lat lon distance
To

Field does not validate



インデックスリンク

インデックスツリー

メールアドレスを入力してください。

WEKO

One fine body…

WEKO

One fine body…

アイテム

  1. 113 工学系研究科・工学部
  2. 24 電子情報工学専攻
  3. 1132420 博士論文(電子情報工学専攻)
  1. 0 資料タイプ別
  2. 20 学位論文
  3. 021 博士論文

Mechanism of Stress-Induced Migration in Metal Interconnections on Semiconductor Devices

https://doi.org/10.11501/3162366
https://doi.org/10.11501/3162366
4224ef41-f94c-4245-a986-aaf6cc1a2266
名前 / ファイル ライセンス アクション
113850.pdf 113850.pdf (7.7 MB)
Item type 学位論文 / Thesis or Dissertation(1)
公開日 2017-01-13
タイトル
タイトル Mechanism of Stress-Induced Migration in Metal Interconnections on Semiconductor Devices
言語
言語 eng
キーワード
主題Scheme Other
主題 Stress-Induced Migration
キーワード
主題Scheme Other
主題 ストレスマイグレーション
キーワード
主題Scheme Other
主題 長期信頼性
キーワード
主題Scheme Other
主題 半導体集積回路
資源タイプ
資源 http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec
タイプ thesis
ID登録
ID登録 10.11501/3162366
ID登録タイプ JaLC
その他のタイトル
その他のタイトル 半導体デバイスに使用される金属配線におけるストレスマイグレーションのメカニズムに関する研究
著者 Aoyagi, Minoru

× Aoyagi, Minoru

WEKO 17728

Aoyagi, Minoru

Search repository
著者別名
識別子Scheme WEKO
識別子 17729
姓名 青柳, 稔
書誌情報 発行日 1998-09-30
日本十進分類法
主題Scheme NDC
主題 549.8
学位名
学位名 博士(工学)
学位
値 doctoral
学位分野
Engineering (工学)
学位授与機関
学位授与機関名 University of Tokyo (東京大学)
研究科・専攻
Department of Information and Communication Engineering, Graduate School of Engineering (工学系研究科電子情報工学専攻)
学位授与年月日
学位授与年月日 1998-09-30
学位授与番号
学位授与番号 甲第13850号
学位記番号
博工第4247号
戻る
0
views
See details
Views

Versions

Ver.1 2021-03-01 20:17:57.393680
Show All versions

Share

Mendeley Twitter Facebook Print Addthis

Cite as

エクスポート

OAI-PMH
  • OAI-PMH JPCOAR 2.0
  • OAI-PMH JPCOAR 1.0
  • OAI-PMH DublinCore
  • OAI-PMH DDI
Other Formats
  • JSON
  • BIBTEX

Confirm


Powered by WEKO3


Powered by WEKO3