WEKO3
アイテム
単結晶電界効果トランジスタの作製に向けたプロセスの最適化
http://hdl.handle.net/2261/20236
http://hdl.handle.net/2261/2023623914800-cc48-4b59-99b7-355ec960d920
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文(fulltext) (7.6 MB)
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要旨(summary) (125.8 kB)
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| Item type | 学位論文 / Thesis or Dissertation(1) | |||||
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| 公開日 | 2011-08-08 | |||||
| タイトル | ||||||
| タイトル | 単結晶電界効果トランジスタの作製に向けたプロセスの最適化 | |||||
| 言語 | ||||||
| 言語 | jpn | |||||
| 資源タイプ | ||||||
| 資源 | http://purl.org/coar/resource_type/c_46ec | |||||
| タイプ | thesis | |||||
| その他のタイトル | ||||||
| その他のタイトル | Process optimization for the fabrication of oxide single crystal field effect transistors | |||||
| 著者 |
西尾, 和記
× 西尾, 和記 |
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| 著者別名 | ||||||
| 識別子Scheme | WEKO | |||||
| 識別子 | 4870 | |||||
| 姓名 | Nishio, Kazunori | |||||
| 著者所属 | ||||||
| 著者所属 | 東京大学大学院新領域創成科学研究科 基盤科学研究系 物質系専攻 | |||||
| 書誌情報 | 発行日 2008-03-24 | |||||
| 学位名 | ||||||
| 学位名 | 修士(科学) | |||||
| 学位 | ||||||
| 値 | master | |||||
| 研究科・専攻 | ||||||
| 新領域創成科学研究科物質系専攻 | ||||||
| 学位授与年月日 | ||||||
| 学位授与年月日 | 2008-03-24 | |||||
| 学位記番号 | ||||||
| 修創域第2387号 | ||||||
